Mikroskopia sił elektrostatycznych (z ang. Electrostatic Force Microscopy, EFM) – tryb pracy mikroskopu typu SPM, obrazuje lokalne rozmieszczenie ładunku elektrycznego, w konsekwencji także pole elektrostatyczne nad próbką. Między sondą a próbką wytwarza się różnicę potencjałów, sonda przesuwa się nad badaną powierzchnią nie dotykając jej. W chwili gdy sonda znajdzie się nad obszarem naładowanym, dźwigienka ugina się, a odbicie od niej pod innym kątem promienia lasera rejestrowane jest przez fotodetektor. EFM stosowane jest np. do próbkowania napięcia układu elektronicznego, najczęściej do testowania aktywnych mikroprocesorów.
Zobacz też SPM skaningowy mikroskop tunelowy mikroskop sił tarcia
Kategoria:Mikroskopy