thumb|251x251px|Tani elektromechaniczny mikroukład nawigacji bezwładnościowej, używany w chirurgicznych urządzeniach Quantiteca thumb|251x251px|Przykład urządzenia pomiarowego MEMS i topografia jego powierzchni thumb|251x251px|Moduł LDC mikroskanera 1D z Instytutu Mikroukładów Fotonicznych im. Fraunhofera Mikroukład elektromechaniczny, mikrosystem elektromechaniczny, mikrourządzenie elektromechaniczne, MEMS (od ) – zintegrowana struktura elektromechaniczna, której co najmniej jeden wymiar szczególny znajduje się w skali mikro (0,1–100 μm).
Mikroukład jest zwykle wykonywany w krzemie lub szkle przy użyciu technik mikroobróbki, na przykład trawienia anizotropowego (między innymi w wodorotlenku potasu). Inną techniką jest trawienie krzemu difluorkiem ksenonu: 2 XeF2 + Si → 2 Xe↑ + SiF4↑
Maski do tych procesów wykonywane są w typowych technikach mikroelektronicznych, podobnych do stosowanych przy wytwarzaniu przyrządów półprzewodnikowych i układów scalonych (np. fotolitografia). W ostatnich latach zwiększone zainteresowanie materiałami polimerowymi spowodowało jednak, że zaczęto rezygnować z używania krzemu z powodu jego wysokiej ceny. W przypadku układów polimerowych najczęstszymi technologiami są: wytłaczanie na gorąco, odlewanie w formie, wtryskiwanie; jeśli rezysty zaliczyć do tej grupy, to również technologie litograficzne.
Jednym z podziałów technologii wytwarzania mikroukładów jest podział ze względu na sposób wykonywania struktury: technologie bezpośrednie – struktura jest wykonywana w elemencie bezpośrednio według projektu, na przykład przy użyciu lasera sterowanego komputerowo technologie pośrednie – do wykonania struktury wykorzystywany jest pewnego rodzaju szablon, na przykład w fotolitografii jest to maska.
Przy tak niewielkich rozmiarach przyrządów ludzka intuicja bywa niewystarczająca do zrozumienia zjawisk rządzących ich działaniem. W mikroprzyrządach elektromechanicznych, na skutek dużego stosunku powierzchni do objętości, zjawiska elektrostatyczne i lepkościowe (zwilżania) mogą dominować nad efektami bezwładności masy lub pojemności cieplnej.
Zastosowania mikrourządzeń elektromechanicznych: czujniki: przyspieszenia (akcelerometry): w samochodach – wykrywanie momentu wypadku (uruchomienie poduszek powietrznych, napinaczy pasów itp.) w aparatach fotograficznych – wykrywanie drgań (stabilizacja obrazu) w komputerach – wykrywanie swobodnego spadania (zabezpieczenie dysku twardego przed uszkodzeniem w momencie upadku) w nowoczesnych zabawkach ciśnienia: reaktory chemiczne zbiorniki substancji wibracji przepływomierze żyroskopy pola magnetycznego (wykorzystujące efekt Halla) przełączniki optyczne rzutniki głowice drukarek atramentowych elektrody do badania mózgu endoskopia miniaturowe zegary atomowe mikroreaktory chemiczne (laboratoria chipowe)
Zobacz też mechatronika
Przypisy
Kategoria:Systemy i urządzenia elektroniczne