Historia Ascher Opler użył terminu w artykule Datamation w roku 1967. Początkowo termin ten oznaczał zawartość zapisywalnego fragmentu pamięci CPU, zawierającej mikroprogram, który definiował i implementował zestaw instrukcji komputera, ponadto mógł być przeładowany w celu modyfikacji instrukcji, które procesor był w stanie wykonać. Pierwotnie firmware kontrastowało ze sprzętem komputerowym (CPU) i oprogramowaniem (standardowe instrukcje wykonywane przez CPU). Nie składało się ono z instrukcji maszynowych procesora, lecz z mikrokodu niższego poziomu odpowiedzialnego za implementację instrukcji. Wbudowane oprogramowanie istniało na „pograniczu” między sprzętem a oprogramowaniem, stąd powstała nazwa firmware. Z czasem znaczenie tego pojęcia poszerzyło się do wszystkich danych zapisywanych w pamięci ROM, w skład których wchodziły instrukcje procesora dla BIOS, programu rozruchowego lub aplikacji dedykowanych.
Do połowy lat 90. aktualizacje oprogramowania sprzętowego przeważnie wiązały się z podmianą pamięci je zawierającej (zwykle były nimi układy scalone ROM). Pamięć flash umożliwiała aktualizację bez konieczności fizycznego wyjmowania układów scalonych.