Największa obszarowo superintendentura morawsko-śląsko-galicyjska okazała się zbyt wielka, dlatego pod koniec 1803 wydzielono z niej superintendenturę lwowską (od 1902 galicyjsko-bukowińską), której podporządkowano również zbory w Bukowinie. W 1869 powstała niewielka superintendentura luterańska Ašu składająca się jedynie z 3 zborów. W 1900 podzielono superintendenturę Czech na część zachodnią (niemieckojęzyczną) i wschodnią (czeskojęzyczną).
Niższym szczeblem zostały senioraty, przy czym lwowski seniorat reformowany podległy był bezpośrednio konsystorzowi. Przykładowo superintendetura morawsko-śląsko-galicyjska została początkowo podzielona na cztery senioraty: na Morawach w Brnie i w Suchdolu a w Galicji we Lwowie i Białej (w dniu 7 maja 1790 rokuBiała od zarania..., 2011, s. 259, z kolei po wydzieleniu w 1803 roku superintendentura galicyjska podzielona została na 3 senioraty). Seniorat śląski powołano dekretem dworskim z 14 grudnia 1807J. Spyra, 2012, s. 328. W 1810 nastąpiła tzw. regulacja pastoralna, która wyznaczała urzędowe granice zborów rozstrzygając liczne spory.