Le difluorosilane est un composé chimique de formule . Il se présente sous la forme d'un gaz incolore dont le point d'ébullition, de , est le plus élevé des fluorosilanes E. A. V. Ebsworth, Volatile Silicon Compounds International Series of Monographs on Inorganic Chemistry, Elsevier, 2013, . . Il se décompose aux températures supérieures à environ pour former du trifluorosilane , du tétrafluorure de silicium ainsi que d'autres composés Theodore M. Besmann, Proceedings of the Thirteenth International Conference on Chemical Vapor Deposition, The Electrochemical Society, 1996, . .
Le difluorosilane peut être obtenu en faisant réagir du dichlorosilane avec du trifluorure d'antimoine C. C. Addison, Inorganic Chemistry of the Main-Group Elements, Royal Society of Chemistry, 1973, . : 3 + 2 ⟶ 3 + 2 .
Cette réaction libère également du tétrafluorure de silicium avec de l'hydrogène Advances in Inorganic Chemistry and Radiochemistry, Academic Press, 1964, . .
Soumis à un arc électrique, les atomes d'hydrogène sont éliminés préférentiellement de la molécule , ce qui libère de l'hydrogène en donnant du 1,1,2,2-tétrafluorodisilane : 2 ⟶ + .
À température élevée, le difluorosilane peut se dismuter en échangeant un atome d'hydrogène et un atome de fluor entre deux molécules, ce qui donne du fluorosilane et du trifluorosilane E. A. V. Ebsworth, Volatile Silicon Compounds: International Series of Monographs on Inorganic Chemistry, Elsevier, 2013, . .
Le difluorosilane peut être utilisé avec l'ammoniac pour le dépôt chimique en phase vapeur () de couches minces de nitrure de silicium .
Notes et références
Catégorie:Fluorure Catégorie:Silane