SMIF (аббр. от - Стандартный Механический ИнтерФейс) — стандарт E19-1105 на механическое оборудование для автоматизированных микроэлектронных производств. Контейнеры SMIF позволяют хранить и перемещать наборы полупроводниковых пластин между установками, сохраняя повышенную чистоту.
История Технология разработана в 1980-е годы в Hewlett-Packard, Пало-Альто (система «micronauts») для использования в чистых помещениях. Контейнеры SMIF () служат для хранения и транспортировки нескольких полупроводниковых пластин в специальной кассете (). Внутри контейнера поддерживается более высокая степень чистоты. Пластины располагаются горизонтально. В нижней части контейнера находится дверца, через которую кассета с пластинами загружается и выгружается из контейнера.
Целью SMIF является дополнительная изоляция пластин для предохранения их от загрязнения. Работа с контейнерами, загрузка и выгрузка пластин из них проводится автоматизированными загрузочными устройствами, являющимися частью технологического оборудования (например, степпер может иметь 2 SMIF-порта для контейнеров: один для пластин, не прошедших обработку, и другой для обработанных пластин). Таким образом, загрузка пластин не требует операций, проводимых непосредственно человеком. Внутренняя среда внутри контейнера и оборудования не контактирует с внешними потоками воздуха.
Контейнеры имеют идентификационные элементы (номер, штрихкод, электронные ярлыки). Их корпус изготовлен из пластика. Для транспортировки контейнеров могут применяться люди или роботизированные системы (называемые AMHS, от ; например, подвесные монорельсовые системыА.И.Сухопаров. Проект “Ангстрем-Т”: первая российская smart-foundry. / Электроника НТБ Выпуск #6/2008. «перемещение пластин между участками будет происходить в специальных SMIF-контейнерах по монорельсам»)
SMIF применяется при работе с пластинами диаметром до 200 мм. Для более крупных пластин (300 и 450 мм) применяется стандарт FOUP (; SEMI E47.1-1106).
Кроме работы с пластинами, контейнеры могут применяться и для работы с фотолитографическими масками.
Примечания
Категория:Технология полупроводников