Эдуард Іванавіч Тачыцкі (, Мінск — ) — беларускі вучоны ў галіне матэрыялазнаўства ў машынабудаванні і ў мікраэлектроніцы, фізіцы і тэхналогіі тонкіх плёнак і пакрыццяў. Член-карэспандэнт Нацыянальнай акадэміі навук Беларусі (1994). Доктар тэхнічных навук (1974), прафесар (1981).
Біяграфія Скончыў Белдзяржуніверсітэт (1959). У 1959—1976 гадах малодшы навуковы супрацоўнік, старшы інжынер, галоўны інжынер, старшы навуковы супрацоўнік, загадчык лабараторыі фізіка-тэхнічнага інстытута. У 1976—1990 гадах загадчык лабараторыі Інстытута электронікі. З 1990 года дырэктар інжынернага цэнтра «Плазматэг» Нацыянальнай АН Беларусі.
Навуковая дзейнасць Навуковыя працы прысвечаны даследаваннях рэальнай структуры тонкіх плёнак, з’яў эпітаксіі, кінэтыкі і тэрмадынамікі фазаутварэння пры вакуумнай кандэнсацыі тонкіх плёнак і пакрыццяў. Стварыў тэорыю кінэтыкі зараджэння і росту пакрыццяў ва ўмовах як стацыянарнага, так і імпульснай аблогі, усталяваў уплыў размерных эфектаў на структурныя і фазавыя ператварэння ў тонкаплёнкавых сістэмах, залежнасць фізічных уласцівасцяў і крышталяграфічны структуры плёнак ад умоў крышталізацыі і наступнай тэрмаапрацоўкі. Распрацаваў навуковыя асновы новага напрамку ў матэрыялазнаўстве для мікраэлектронікі: фарміраванне ў вакууме элементаў звышвялікіх інтэгральных схем(ЗБІС), ахоўных і пасівіруючых пакрыццяў з імпульсных патокаў паскоранай плазмы; сфармуляваў прынцыпы рэалізацыі метастабільных станаў у плёнках і тонкаплёнкавых сістэмах, эксперыментальна атрымаў алмазныя і алмазападобныя вугляродныя плёнкі пры нізкіх тэмпературах на падкладках з розных матэрыялаў. Стварыў канцэпцыю «сухой» ўльтрафіялетавай лазернай праекцыйнай мікралітаграфіі, на яе аснове распрацаваў новую прагрэсіўную тэхналогію вырабу ЗБІС у адзіным тэхналагічным цыкле. Вядомы як вучоны ў галіне ключавых працэсаў навукаёмістага, нематэрыялаёмкага сучаснага машынабудавання, павышэння даўгавечнасці і надзейнасці машын і механізмаў метадам нанясення умацоўваючых, зносастойкіх, цеплаахоўных і каразійна-стойкіх пакрыццяў на дэталі машын і механізмаў. Распрацаваў унікальную тэхналогію і прамысловае абсталяванне, стварыў паскаральнікі імпульснай катодна-дугавой эразійнай плазмы, якія дазваляюць атрымліваць нанаразмерные матэрыялы і з высокай дакладнасцю наносіць шматслойныя і шматкампанентныя пакрыцця зададзенага складу і таўшчыні, а таксама сінтэзаваць раней невядомыя матэрыялы пры праграмуемым змешванні ў любых прапорцыях і спалучэннях плазменных патокаў рэчываў, якія ў раўнаважкіх умовах ўзаемна не раствараюцца і не рэагуюць. У апошнія гады развівае ў Беларусі новыя навуковыя напрамкі: мікрамеханічныя сістэмы і нанаэлектроніку.
Аўтар больш за 370 навуковых прац, у тым ліку 3 манаграфій, 70 вынаходстваў і патэнтаўЭдуард Іванавіч ТачыцкіТочицкий Эдуард ИвановичТочицкий Эдуард Иванович.
Асноўныя працы Структура тонких металлических пленок. Мн., 1968 (с В. П. Северденко). Кристаллизация и термообработка тонких пленок. Мн., 1976.
Крыніцы
Літаратура
Спасылкі Эдуард Іванавіч Тачыцкі ў базе даных «История белорусской науки в лицах» Цэнтральнай навуковай бібліятэкі імя Якуба Коласа НАН Беларусі
Катэгорыя:Матэрыялазнаўцы СССР Катэгорыя:Матэрыялазнаўцы Беларусі Катэгорыя:Члены-карэспандэнты НАНБ