Le fluorosilane est un composé chimique de formule . Il se présente sous la forme d'un gaz incolore qui se condense à en un solide cristallisé dans le système monoclinique, ayant à le groupe d'espace P2/n ().
Le fluorosilane peut être obtenu en faisant réagir du fluorométhane avec du silicium, de l'éther de silyle et de méthyle avec du trifluorure de bore Advances in Inorganic Chemistry and Radiochemistry, Academic Press, 1961, . ou du chlorosilane avec du trifluorure d'antimoine C. C. Addison, Inorganic Chemistry of the Main-Group Elements, Royal Society of Chemistry, 1973, . : 3 + ⟶ + .
Le fluorosilane peut être utilisé pour déposer des couches de silicium.
Notes et références
Catégorie:Fluorure Catégorie:Silane