ASML је холандска технолошка компанија која развија и производи фотолитографске системе за полупроводничку индустрију. Седиште компаније налази се у Велдховену у Холандији. Компанија је најпознатија по развоју и производњи система за литографију екстремним ултраљубичастим зрачењем (; EUV), који се користе у производњи најнапреднијих интегрисаних кола.
Историја Компанија је основана 1984. године под називом као заједничко предузеће холандских компанија Philips и , са циљем развоја европске индустрије опреме за полупроводнике у периоду доминације јапанских произвођача.
Први производ био је литографски систем , развијен у близини Ајндховена. У раним годинама компанија је пословала у условима значајних финансијских и технолошких изазова, али је постепеним развојем и подршком оснивача успела да се позиционира на тржишту опреме за полупроводнике.
Током касних осамдесетих и деведесетих година развијена је серија литографских система , која је постала широко прихваћена у индустрији интегрисаних кола и омогућила раст тржишног удела.
Године 1995. ASML је изашао на берзе у Амстердаму и Њујорку, што је довело до значајног ширења производних капацитета и убрзање истраживања и развоја. У наредном периоду компанија је повећала удео на глобалном тржишту и постепено учврстила позицију међу водећим произвођачима литографске опреме, уз конкуренцију компанија Nikon и Canon.
Почетком 2000-их година започети су интензивни развојни програми у области екстремне ултраљубичасте литографије (EUV), уз сарадњу са међународним партнерима из области оптике, ласерске технологије и прецизне механике.
Током 2001. године преузета је америчка компанија , чиме је ојачано присуство на америчком тржишту и проширен портфолио технологија. Накнадне аквизиције биле су усмерене на софтвер, метрологију и контролу производних процеса.
Године 2012. највећи произвођачи полупроводника, укључујући , и , уложили су значајна средства у развој EUV технологије, чиме је убрзан њен прелазак ка комерцијалној примени.
Након више од две деценије развоја, EUV системи су крајем 2010-их ушли у комерцијалну употребу и омогућили производњу најнапреднијих полупроводничких процеса у индустрији.
До почетка 2020-их година ASML је постао један од најзначајнијих европских технолошких произвођача и међу највреднијим компанијама у Холандији, са доминантном позицијом у области EUV литографије.
Пословање ASML развија и производи литографске системе који се користе за пренос сложених образаца на силицијумске плочице у производњи интегрисаних кола. Његови системи омогућавају израду све мањих и сложенијих транзистора, што је кључно за развој савремених микропроцесора и меморијских чипова.
Поред литографских система, компанија развија софтвер, системе за метрологију и контролу процеса, као и услуге техничке подршке произвођачима полупроводника. Највећи део прихода остварује се на тржиштима Азије, Северне Америке и Европе.
Технологија ASML развија сложене фотолитографске системе који обухватају оптичке системе, изворе зрачења, прецизну механику, софтвер за управљање и метрологију. Циљ је омогућавање изузетно прецизног преноса геометрије кола на нанометарском нивоу.
Архитектура литографских система Литографски системи (скенери) заснивају се на пројекционој литографији, где се образац са фотомаске оптички умањује и преноси на силицијумску плочицу.
Поступак се изводи у високо контролисаним условима, при чему су стабилност, температура и вибрације строго регулисани како би се обезбедила прецизност на нанометарском нивоу.
DUV литографија DUV литографија представља дугогодишњу основу масовне производње полупроводника. Користи таласну дужину од 193 нанометра и технике као што је , где се између сочива и плочице налази течност ради побољшања резолуције.
Ови системи се и даље користе у производњи различитих класа чипова, укључујући меморије и мање напредне логичке компоненте, често у комбинацији са техникама вишеструке експозиције.
EUV литографија EUV литографија користи зрачење таласне дужине од 13,5 нанометара, чиме се постиже значајно већа резолуција у односу на DUV технологију. Због апсорпције екстремног ултраљубичастог зрачења у материјалима, систем користи рефлективну оптику са вишеслојним огледалима уместо сочива. Извор зрачења заснива се на стварању плазме из капљица калаја, које се погађају снажним ласерским импулсима у вакууму.
EUV технологија се широко користи у савременим производним процесима у индустрији полупроводника.
High-NA EUV представља следећу генерацију технологије, засновану на повећању нумеричке апертуре оптичког система ради постизања веће резолуције и даље минијатуризације транзистора. Очекује се да ће имати важну улогу у будућим технолошким генерацијама испод 2 нанометра.
Метрологија и софтвер Поред хардверских система, ASML развија напредна решења за мерење и контролу процеса, која омогућавају исправљање грешака у реалном времену и одржавање високог приноса у производњи.
Софтверски системи координишу рад оптике, механике и извора зрачења, уз примену алгоритама за компензацију оптичких и термалних одступања.
Интеграција у производни ланац ASML не производи чипове, већ опрему која се користи у њиховој производњи. Његови системи су део ширег екосистема у којем учествују компаније као што су , и , као и бројни добављачи материјала, оптике и индустријских компоненти.
Због високе сложености система, испорука и инсталација захтевају дуготрајан процес интеграције у фабрике полупроводника, познате као . Ови системи се редовно надограђују како би пратили захтеве нових генерација производних процеса.
Награде ASML је добио различита индустријска признања и технолошка одликовања у областима полупроводничке опреме, прецизне механике и фотонике. Признања се односе пре свега на развој литографских технологија, укључујући екстремну ултраљубичасту литографију (EUV), која је омогућила даљу минијатуризацију интегрисаних кола.
Компанија је такође препозната по сарадњи са водећим произвођачима полупроводника, који су учествовали у развоју и финансирању EUV технологије, што је допринело њеној комерцијализацији. У ширем контексту, ASML се сматра једним од кључних добављача опреме у глобалној полупроводничкој индустрији и једним од водећих европских технолошких произвођача.
Види још
TSMC Intel Полупроводник
Референце