Наналітаграфія — гэта развіваючаяся вобласць нанатэхналогій, якая займаецца стварэннем (напрыклад, траўленнем, запісам, нанясеннем, друкам і інш.) структур нанамасштабных памераў на розных матэрыялах.
Сучасны тэрмін адносіцца да вытворчасці структур, створаных у дыяпазоне ад 10−9 да 10−6 метраў, гэта значыць у нанаметровым маштабе. Па сутнасці, гэтая галіна з’яўляецца вытворнай ад літаграфіі і ахоплівае толькі вельмі малыя структуры. Усе метады наналітаграфіі можна падзяліць на наступныя чатыры групы: фоталітаграфія, мяккая літаграфія, сканіруючая літаграфія і іншыя розныя тэхнікі.
Гісторыя Наналітаграфія развілася з-за неабходнасці павялічыць колькасць субмікраметровых элементаў (напрыклад, транзістараў, кандэнсатараў) у інтэгральнай схеме, каб задаволіць закон Мура. Хоць літаграфічныя метады існуюць з канца 18 стагоддзя, ні адзін з іх не ўжываўся да нанамаштабных структур да сярэдзіны 1950-х гадоў. З развіццём паўправадніковай прамысловасці попыт на метады, здольныя ствараць мікра- і нанамаштабныя структуры, рэзка ўзрос. Фоталітаграфія была ўпершыню ўжыта да такіх структур у 1958 годзе, што паклала пачатак эры наналітаграфіі.
З таго часу фоталітаграфія стала найбольш камерцыйна паспяховай тэхнікай, здольнай вырабляць структуры памерамі менш за 100 нанаметраў. З гэтай галіной звязана некалькі метадаў, кожны з якіх прызначаны для шырокага прымянення ў паўправадніковай і медыцынскай прамысловасці. Прарывы ў гэтай галіне ўносяць значны ўклад у развіццё нанатэхналогій і набываюць усё большае значэнне сёння, паколькі попыт на ўсё меншыя і меншыя камп’ютэрныя чыпы расце. Іншыя вобласці даследаванняў тычацца фізічных абмежаванняў гэтай галіны, фатонікі і збору энергіі.
Зноскі
Катэгорыя:Нанатэхналогія Катэгорыя:Літаграфія Катэгорыя:Тэхналогія паўправаднікоў